shallow trench isolation製程
淺矽溝槽製程(ShadowTrenchIsolationProcess)正是做為半導體製程中隔離電晶體開與關的功能,但是在製造過程當中遇到缺陷(Defect)便會影響到產品的穩定 ...,由嚴永民著作·2011—ShallowTrenchIsolation(STI)techniquesareessentialforsemiconductordeviceforreducingel...
何謂STI? - WU MIN SHIN
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2014年12月19日—STI=ShallowTrenchIsolation.顧名思義就是在CMOS上挖一條溝渠來做隔離,那是隔離什麼呢?因為在CMOS上會有P+與N+結合起來的depletion ...
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